MEMS įrenginio gamybos būdas

technikos sritis

1. Šis atskleidimas yra susijęs su atmintinės įtaisu su patobulintu įtempių paskirstymu.

Fono technika:

2. Kaip gerai žinoma, atmintinės ("mikroelektromechaninės sistemos") elektroniniai prietaisai, pvz., pavaros ir (arba) jutikliai, paprastai formuojami ant pagrindo, kuriame yra ertmė, ir apima judančias konstrukcijas, pakabintas nuo ertmės viršuje ir apribotas elastine juostele. elementą į fiksuotą sritį. Pagrindas, judanti struktūra ir elastingas elementas gali būti vientisi ir paprastai yra sudaryti iš puslaidininkinės medžiagos, tokios kaip silicis.

3. Šie elektroniniai įtaisai taip pat apima: vieną ar daugiau paleidimo ir (arba) aptikimo konstrukcijų, sujungtų su kilnojama konstrukcija; ir elektrinės valdymo grandinės, integruotos į tą patį pagrindą arba suformuotos skirtinguose substratuose, ir sujungimas su paleidimo ir (arba) aptikimo struktūra gali teikti elektrinius pavaros signalus į paleidimo struktūrą ir (arba) priimti elektrinius aptikimo signalus iš aptikimo struktūros.

4. Detaliau, paleidimo konstrukcija gali sukelti judamosios konstrukcijos poslinkį, pvz., sukimąsi, kai valdoma atitinkamu elektros pavaros signalu. Panašiai aptikimo struktūra yra sukonfigūruota taip, kad generuotų atitinkamus elektrinius signalus, kurie priklauso nuo judamosios konstrukcijos veikimo sąlygų ir, pavyzdžiui, nuo kilnojamos konstrukcijos sukimosi diapazono.

5. Elektrinė valdymo grandinė ir įjungimo ir (arba) aptikimo struktūra paprastai yra elektra sujungtos viena su kita laidžiais takeliais, pvz., suformuotais iš laidžių sluoksnių krūvos.

6. Laidieji bėgiai paprastai tęsiasi per fiksuotas sritis, elastingus elementus, o kartais iš dalies per judančias konstrukcijas.

7. Eksploatacijos metu judamosios konstrukcijos poslinkis deformuojasi, pvz., susisuka elastingi elementai, ribojantys judamą konstrukciją iki fiksuoto ploto.

Susisiekite su mumis:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel.: plius 86-755-23699351

Mob: plius 8618666663894