Mikroelektromechaninės sistemos įtaisas ir jo gamybos būdas

1. Šis išradimas yra susijęs su mikromechaninių sistemų technine sritimi, ypač su mikroelektromechaninės sistemos įtaisu ir jo pakuotės struktūra.

Fono technika:

2. Mikroelektromechaninė sistema (mems, mikroelektromechaninė sistema), taip pat žinoma kaip mikroelektromechaninė sistema, mikrosistema, mikromašina ir kt., reiškia aukštųjų technologijų įrenginius, kurių dydis kelių milimetrų ar net mažesnių.

3. Mikroelektromechaninių sistemų įtaisai (arba atmintinės įtaisai) yra įtaisai, pagaminti naudojant puslaidininkių technologiją mechaniniams ir elektroniniams komponentams formuoti. Įprasti MEMS įrenginiai yra rezonatoriai, greitintuvai, slėgio jutikliai, pavaros, veidrodžiai, šildytuvai ir spausdintuvo purkštukai. Dėl struktūrinių pokyčių, tokių kaip įtrūkimai, susiraukšlėjimas, atsisluoksniavimas, deformacija, lankstymas ir pan., gali sutrikti įrenginio veikimas.

4. Atsižvelgiant į minėtus defektus, būtina numatyti naują MEMS įrenginį ir jo pakuotės struktūrą.

Susisiekite su mumis:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel.: plius 86-755-23699351

Mob: plius 8618666663894