Safyro vaflių tiesioginio klijavimo metodas ir procesas, skirtas safyro slėgiui jautriai struktūrai

1. Šis išradimas priklauso mems technologijos techninei sričiai, ypač safyro slėgiui jautrios struktūros safyro plokštelių tiesioginio sujungimo būdui.

Fono technika:

2. Tradicinių puslaidininkinių slėgio jutiklių darbinė temperatūra paprastai yra žemesnė nei 600 laipsnių. Maksimali pjezorezistinio slėgio jutiklio darbinė temperatūra yra 600 laipsnių, didžiausia soi slėgio jutiklio darbinė temperatūra yra žemesnė nei 500 laipsnių, o maksimali silicio-safyro slėgio jutiklio darbinė temperatūra. Temperatūra 350 laipsnių. Elektrinius slėgio jutiklius sunku pritaikyti aukštesnės temperatūros aplinkoje.

3. Šiuo metu užsienyje pasirodė optinio pluošto slėgio jutiklių gaminiai, kurių pagrindą sudaro safyro lustai, pvz., Didžiosios Britanijos oxsensis kompanijos bangų optinio slėgio jutiklis dpt950, maksimali darbinė temperatūra gali siekti 600 laipsnių, o zondo priekinė dalis gali pasiekti 1000 laipsnių. Tačiau Kinijoje nebuvo pranešta apie optinio pluošto slėgio jutiklių, pagrįstų safyro lustais, tyrimų rezultatus. Kinijos patentinis dokumentas cn103234673 atskleidžia aukštai temperatūrai atsparią slėgio jutiklio mikro-nano struktūrą, kurią sudaro: silicio karbido diafragma, atspindinti plėvelė, pusiau atspindinti plėvelė, jungiamasis sluoksnis, silicio karbido substratas, inkapsuliavimo sluoksnis ir safyras. optinis pluoštas; padengta atspindinti plėvelė Silicio karbido diafragmos viduryje, pusiau atspindinti plėvelė yra padengta safyro pluošto gale, jungiamasis sluoksnis (silicio dioksidas) yra tarp silicio karbido diafragmos ir silicio karbido pagrindo, o safyro pluoštas yra prijungtas prie silicio karbido substrato per kapsuliavimo sluoksnį (aukštos temperatūros keraminiai klijai). Pirmiau minėto slėgio jutiklio paruošimo procesas yra sukurti Fabry-Parot trukdžių ertmę, naudojant atspindinčią plėvelę, padengtą silicio karbido diafragma, ir pusiau atspindinčią plėvelę, padengtą safyro optinio pluošto gale, kad būtų galima aptikti slėgį aukštoje temperatūroje. temperatūros aplinka.

4. Šiuo metu buitinės safyro plokštelės (plokščių lygmens) tiesioginio sujungimo procesas tebėra teorinio tyrimo stadijoje, o subrendusios safyro plokštelės (plokščių lygmens) tiesioginio sujungimo proceso technologijos dar nėra. Kinijoje plokštelių lygiu paprastai klijuojamos silicio pagrindu pagamintos medžiagos, o sujungimo temperatūra yra žemesnė nei 500 laipsnių, pvz., silicio ir silicio sujungimas, silicio ir stiklo anodinis sujungimas ir kt. Kinijos patento dokumente cn 105236350 a aprašomas tiesioginis sujungimas. Safyro slėgiui jautrių lustų metodas, tik temperatūra yra 1350 laipsnių, nekontroliuojamas slėgis (slėgis) klijavimo proceso metu ir nėra temperatūros ir slėgio sujungimo valdymo.

Susisiekite su mumis:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel.: plius 86-755-23699351

Mob: plius 8618666663894